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液态气体
 

液态气体

1、高纯液氧

杂质含量

Ar

N2

CH4

CO2

≥99.995%

PPM

5

10

2

1


2、高纯液氩

杂质含量

N2

H2

O2

CO2

CH4

H20

≥99.995%

PPM

4

1

1

1

1

2.6


3、纯液氩

杂质含量

N

O2

H2

总碳

≥99.995%

PPM

100

15

5

10


4、纯液氮

杂质含量

O2

高纯液氮

≥99.995%

PPM

5

≥99.995%

%

0.01


5、液体二氧化碳

液体二氧化碳

≥99.995%

 

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